integriniai grandynai: a – puslaidininkinio integrinio grandyno (atmintyno) lustas, b – hibridinio integrinio grandyno lustas

mikroelektrònika (gr. mikros – mažas + elektronika), elektronikos šaka, kurianti ir gaminanti mikrominiatiūrinius elektronikos įtaisus. Mikroelektronikos pagrindas – kietojo kūno, ypač puslaidininkinių darinių, elektrinės ir kitos savybės. Mikroelektronikoje taikomi įtaisų miniatiūrizacijos ir integracijos principai. Svarbiausias uždavinys – įvairių elektroninių grandynų elementų matmenų mažinimas (iki 0,1–1 µm) ir jų sanglaudos tankio didinimas (iki 105 elementų 1 mm2). Atsirado 20 a. 7 dešimtmečio pradžioje ir jos plėtra spartėjo dėl vis platesnio mikroelektronikos įtaisų ir prietaisų naudojimo ir jų gamybos masto didinimo. Elektroninių prietaisų gamybos tradicinius metodus pakeitė integrinio grandyno sukūrimas. Tai lėmė ir skatino monokristalų auginimo, plokštelių išpjovimo, jų šlifavimo, poliravimo būdų ir mikroelektronikos technologijų (epitaksijos, legiravimo priemaišų difuzijos, jonų, implantavimo ir kitais būdais, technologinių, funkcinių ir apsauginių sluoksnių sudarymo) plėtotę.

Integrinių grandynų gamyboje pritaikyta planarioji technologija. Būdinga šios technologijos savybė yra fotolitografijos, elektronpluoštės, jonpluoštės ir rentgeninės litografijos taikymas. Mikroelektronika plėtojama integrinių grandynų elementų telkimo laipsnio didinimo, funkcinės elektronikos principų taikymo ir nanoelektronikos kūrimo kryptimis.

Papildoma informacija
Turinys
Bendra informacija
Straipsnio informacija
Autorius (-iai)
Redaktorius (-iai)
Publikuota
Redaguota
Siūlykite savo nuotrauką