mikrointerferomètras (gr. mikros – mažas + lot. inter – tarp + ferens – nešantis + gr. metron – matas), optinis prietaisas išorinių detalės paviršių šiurkščiui arba mikroskopiniams nelygumams (0,03–1 µm), t. p. plonų neskaidrių plėvelių storiui matuoti naudojant šviesos bangų interferencijos reiškinį. Sudarytas iš mikroskopo ir dvispindulinio (Michelsono) interferometro. Jame šviesos pluoštas specialiu optiniu įtaisu perskiriamas į du pluoštelius, vienas jų atsispindėjęs nuo veidrodžio, kitas nuo tiriamojo paviršiaus krinta į okuliarą, kuriame sukuria paviršiaus interferencinį vaizdą; jei paviršius lygus ir glotnus, interferencijos juostos būna tiesios, jei yra mikroskopinių nelygumų – jos iškrypsta, o jų iškreipiai tam tikru masteliu rodo detalės paviršiaus nelygumų formą. Apšvietus paviršių balta arba monochromatine šviesa sudarytą interferencinį vaizdą galima ne tik stebėti, bet ir fotografuoti.
289