plãzminė technològija, būdas medžiagoms gauti, apdoroti ar kitaip apdirbti panaudojant žemųjų temperatūrų plazmą. Būdinga tai, kad plazmos cheminį aktyvumą lemia joje vykstantys procesai, per kuriuos sužadinamos neutralios molekulės. Plazmoje (ją sukuria plazmotronas lankiniu, aukštadažnio išlydžio ar kitu būdu) sparčiau vyksta cheminės reakcijos, t. p. susidaro daugiau produktų, taip sintezei plazmoje sukuriamos unikalios sąlygos. Plazmocheminiai procesai įmanomi tiek homogeninėje, tiek heterogeninėje terpėje. Plazmos srautuose perdirbamos ir apdorojamos kietos, skystos ir dujinės medžiagos, gaminami nitridai, karbidai, oksidai, įsotinami anglimi metalų paviršiai, gaunamos labai grynos smulkiadispersės dalelės (naudojamos radioelektronikos, chemijos, automobilių pramonėje), neutralizuojamos kenksmingosios medžiagos, aplydoma metalų keramika (restauruojant mašinų detales), metalų paviršiuje sudaromi ploni sluoksniai (katalitinės, apsauginės dangos), iš gamtinių dujų gaminamas acetilenas ir techninis vandenilis bei kiti produktai. Plazminė technologija tinka labai grynoms, norimų savybių medžiagoms gauti, o ypač toms, kurių nėra Žemėje ar negaunama normaliomis sąlygomis. Panaudojant plazmą į medžiagos paviršiaus sluoksnį įterpiamos priemaišos, preciziškai formuojamos trimatės struktūros, gaunami puslaidininkių, puslaidininkinių polimerų, dielektrikų ir metalų sluoksniai medžiagos paviršiuje (ir giliau).
Istorija
Plazminės technologijos pradžia laikoma 19 a. antra pusė, kai buvo atrastas katodinio dulkėjimo reiškinys (1852; Williamas Robertas Grove’as, Didžioji Britanija) ir pradėtas naudoti ploniems metaliniams sluoksniams gauti. Sparčiau plazminė technologija medžiagų paviršiui apdirbti imta taikyti 20 a. 7 dešimtmečio pabaigoje, pradėjus elektroninių ir optinių prietaisų gamyboje naudoti submikroninių dydžių topologinius elementus. Lietuvoje plazminės technologijos tyrimai atliekami Lietuvos energetikos institute, taikomi ketui azoto plazmoje lydyti ir perkaitinti (Kauno Centrolito liejykloje), elektrai laidžios keramikos, dispersinių dalelių sintezei ir granulių susidarymui, metalui (ir gelžbetoniui) pjaustyti, virinti, detalių paviršiams valyti, ėsdinti ir aktyvuoti, medicinos priemonėms sterilizuoti. Kauno technologijos universitete plazmine technologija keičiamos paviršiaus savybės ir sudaromos dangos (trimatės struktūros, vienkomponentės ir daugiakomponentės dangos), plazma kietinamos medžiagos, jungiamos konstrukcijos, daromos dokumentų ir prietaisų autentiškumo apsaugos priemonės, spaudai trimatėms fotoninėms struktūroms; su Medžiagų mokslo institutu ir bendrove Technologija sukurta plazminė technologija naujiems valcavimo velenams gaminti, t. p. susidėvėjusiems atkurti (taikoma Europos Sąjungos šalyse, Rusijoje). Vytauto Didžiojo universitetas tiria plazminės technologijos taikymą vandenilio energetikoje, plieno azotinimui.
2268