vakuuminis siurblys
vakuumnis siurblỹs, įrenginys dujų ir garų slėgiui uždaroje ertmėje mažinti. Skiriami mechaniniai (stūmokliniai arba rotaciniai), ežektoriniai, joniniai, kriogeniniai, sorbciniai ir kiti vakuuminiai siurbliai. Mechaniniu vakuuminiu siurbliu sukuriamas 1–10–8 Pa liekamasis slėgis. Sorbcinio vakuuminio slėgio veikimas pagrįstas kai kurių medžiagų geba sugerti dujas, joninio – jonizuotų molekulių pašalinimu elektriniu arba magnetiniu lauku. Jo sukuriamas liekamasis slėgis 10–5–10–8 Pa. Vakuuminiai siurbliai naudojami metalurgijoje, energetikoje, elektronikoje, medicinoje, chemijos ir maisto pramonėje.